一、為何選擇氧化鋁陶瓷？ 氧化鋁（Al?O?，尤其是高純氧化鋁）之所以成為半導(dǎo)體設(shè)備的“寵兒”，源于其獨(dú)特的性能組合： 極高的純度與低污染：半導(dǎo)體工藝對(duì)雜質(zhì)極度敏感。高純氧化鋁（如99.6%、99.8%以上）自身放氣量極低，